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Al互连线和Cu互连线的显微结构

王俊忠 吉 元 王晓冬 刘志民 罗俊锋 李志国

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Al互连线和Cu互连线的显微结构

王俊忠, 吉 元, 王晓冬, 刘志民, 罗俊锋, 李志国

Microstructures of Al and Cu interconnects

Wang Jun-Zhong, Ji Yuan, Wang Xiao-Dong, Liu Zhi-Min, Luo Jun-Feng, Li Zhi-Guo
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-04-03
  • 修回日期:  2006-05-23
  • 刊出日期:  2007-01-08

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