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直拉硅单晶中原生氧沉淀的透射电镜研究

徐 进 李福龙 杨德仁

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直拉硅单晶中原生氧沉淀的透射电镜研究

徐 进, 李福龙, 杨德仁

Grown-in oxygen precipitates in czochralski silicon investigated by transmission electron microscopy

Xu Jin, Li Fu-Long, Yang De-Ren
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-11-10
  • 修回日期:  2006-12-15
  • 刊出日期:  2007-07-20

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