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沉积温度对微晶硅薄膜结构特性的影响

陈永生 郜小勇 杨仕娥 卢景霄 谷锦华

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沉积温度对微晶硅薄膜结构特性的影响

陈永生, 郜小勇, 杨仕娥, 卢景霄, 谷锦华

The influence of deposition temperature on the structure of microcrystalline silicon film

Chen Yong-Sheng, Gao Xiao-Yong, Yang Shi-E, Lu Jing-Xiao, Gu Jin-Hua
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-09-11
  • 修回日期:  2006-12-08
  • 刊出日期:  2007-07-20

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