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基于直接胶体晶体刻蚀技术的高度有序纳米硅阵列的尺寸及形貌控制

李 卫 徐 岭 孙 萍 赵伟明 黄信凡 徐 骏 陈坤基

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基于直接胶体晶体刻蚀技术的高度有序纳米硅阵列的尺寸及形貌控制

李 卫, 徐 岭, 孙 萍, 赵伟明, 黄信凡, 徐 骏, 陈坤基

Size and morphology control of highly-ordered nano-silicon pillar fabricated by direct nanosphere lithography

Li Wei, Xu Ling, Sun Ping, Zhao Wei-Ming, Huang Xin-Fan, Xu Jun, Chen Kun-Ji
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-10-24
  • 修回日期:  2006-12-12
  • 刊出日期:  2007-07-20

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