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脉冲偏压上升沿特性对等离子体浸没离子注入鞘层扩展动力学的影响

黄永宪 田修波 杨士勤 Fu Ricky Chu K. Paul

引用本文:
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脉冲偏压上升沿特性对等离子体浸没离子注入鞘层扩展动力学的影响

黄永宪, 田修波, 杨士勤, Fu Ricky, Chu K. Paul

Effect of rise-time patterns on dynamics of sheath expansion during plasma immersion ion implantation

Huang Yong-Xian, Tian Xiu-Bo, Yang Shi-Qin, Ricky Fu, Paul Chu K.
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-11-27
  • 修回日期:  2007-04-06
  • 刊出日期:  2007-04-05

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