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硅薄膜沉积中等离子体辉光功率和阻抗的测试分析

张晓丹 张发荣 Amanatides Elefterious Mataras Dimitris 赵 颖

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硅薄膜沉积中等离子体辉光功率和阻抗的测试分析

张晓丹, 张发荣, Amanatides Elefterious, Mataras Dimitris, 赵 颖

Plasma power and impedance measurement in silicon thin film deposition

Zhang Xiao-Dan, Zhang Fa-Rong, Elefterious Amanatides, Dimitris Mataras, Zhao Ying
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-09-14
  • 修回日期:  2006-10-13
  • 刊出日期:  2007-09-20

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