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一种在线测量微机械薄膜残余应力的新结构

虞益挺 苑伟政 乔大勇 梁 庆

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一种在线测量微机械薄膜残余应力的新结构

虞益挺, 苑伟政, 乔大勇, 梁 庆

A novel microstructure for in-situ measurement of residual stress in micromechanical thin films

Yu Yi-Ting, Yuan Wei-Zheng, Qiao Da-Yong, Liang Qing
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-01-18
  • 修回日期:  2007-01-29
  • 刊出日期:  2007-05-05

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