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生长初期Ta膜的表面动态演化行为

杨吉军 徐可为

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生长初期Ta膜的表面动态演化行为

杨吉军, 徐可为

Surface dynamic evolution of Ta film growth in the initial stage

Yang Ji-Jun, Xu Ke-Wei
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-11-29
  • 修回日期:  2007-03-02
  • 刊出日期:  2007-05-05

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