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磁控溅射法合成纳米β-FeSi2/a-Si多层结构

胡 冰 李晓娜 董 闯 姜 辛

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磁控溅射法合成纳米β-FeSi2/a-Si多层结构

胡 冰, 李晓娜, 董 闯, 姜 辛

Nano-β-FeSi2/a-Si multi-layered structure prepared by magnetron sputtering

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出版历程
  • 收稿日期:  2006-12-02
  • 修回日期:  2007-05-15
  • 刊出日期:  2007-06-05

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