搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

感应耦合等离子体刻蚀p-GaN的表面特性

吕 玲 龚 欣 郝 跃

引用本文:
Citation:

感应耦合等离子体刻蚀p-GaN的表面特性

吕 玲, 龚 欣, 郝 跃

Properties of p-type GaN etched by inductively coupled plasma and their improvement

Lü Ling, Gong Xin, Hao Yue
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  9525
  • PDF下载量:  1413
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2007-03-31
  • 修回日期:  2007-06-21
  • 刊出日期:  2008-01-05

/

返回文章
返回