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高择优取向铌酸锶钡薄膜的射频磁控溅射制备

李跃甫 叶 辉 傅兴海

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高择优取向铌酸锶钡薄膜的射频磁控溅射制备

李跃甫, 叶 辉, 傅兴海

RF magnetron sputtering deposition growth of highly orientated strontium barium niobate thin films

Li Yue-Fu, Ye Hui, Fu Xing-Hai
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-02-07
  • 修回日期:  2007-07-18
  • 刊出日期:  2008-01-05

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