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用激光分子束外延在Si衬底上外延生长高质量的TiN薄膜

何 萌 刘国珍 仇 杰 邢 杰 吕惠宾

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用激光分子束外延在Si衬底上外延生长高质量的TiN薄膜

何 萌, 刘国珍, 仇 杰, 邢 杰, 吕惠宾

Epitaxial growth of high quality TiN thin film on Si by laser molecular beam epitaxy

He Meng, Liu Guo-Zhen, Qiu Jie, Xing Jie, Lü Hui-Bin
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-05-06
  • 修回日期:  2007-06-13
  • 刊出日期:  2008-01-05

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