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感应耦合等离子体增强射频磁控溅射沉积ZrN薄膜及其性能研究

刘 峰 孟月东 任兆杏 舒兴胜

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感应耦合等离子体增强射频磁控溅射沉积ZrN薄膜及其性能研究

刘 峰, 孟月东, 任兆杏, 舒兴胜

Characterization of ZrN films deposited by ICP enhanced RF magnetron sputtering

Liu Feng, Meng Yue-Dong, Ren Zhao-Xing, Shu Xing-Sheng
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-04-02
  • 修回日期:  2007-06-06
  • 刊出日期:  2008-03-20

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