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低损耗193 nm增透膜

尚淑珍 邵建达 范正修

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低损耗193 nm增透膜

尚淑珍, 邵建达, 范正修

Low-loss 193nm anti_reflection coatings

Shang Shu-Zhen, Shao Jian-Da, Fan Zheng-Xiu
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-11-11
  • 修回日期:  2007-12-04
  • 刊出日期:  2008-03-20

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