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氢化非晶硅薄膜的热导率研究

李世彬 吴志明 袁 凯 廖乃镘 李 伟 蒋亚东

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氢化非晶硅薄膜的热导率研究

李世彬, 吴志明, 袁 凯, 廖乃镘, 李 伟, 蒋亚东

Study on thermal conductivity of hydrogenated amorphous silicon films

Li Shi-Bin, Wu Zhi-Ming, Yuan Kai, Liao Nai-Man, Li Wei, Jiang Ya-Dong
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-06-30
  • 修回日期:  2007-09-14
  • 刊出日期:  2008-05-28

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