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硅薄膜沉积过程中等离子发光基团的一维空间分布研究

陈 飞 张晓丹 赵 颖 魏长春 孙 建

引用本文:
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硅薄膜沉积过程中等离子发光基团的一维空间分布研究

陈 飞, 张晓丹, 赵 颖, 魏长春, 孙 建

Study of one-dimensional spatial distribution of the plasma luminous radicals during depositing silicon films

Chen Fei, Zhang Xiao-Dan, Zhao Ying, Wei Chang-Chun, Sun Jian
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-09-29
  • 修回日期:  2007-10-06
  • 刊出日期:  2008-05-28

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