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氮化硅薄膜中纳米非晶硅颗粒的键合结构及光致发光

于 威 李亚超 丁文革 张江勇 杨彦斌 傅广生

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氮化硅薄膜中纳米非晶硅颗粒的键合结构及光致发光

于 威, 李亚超, 丁文革, 张江勇, 杨彦斌, 傅广生

Bonding configurations and photoluminescence of amorphous Si nanoparticles in SiNx films

Yu Wei, Li Ya-Chao, Ding Wen-Ge, Zhang Jiang-Yong, Yang Yan-Bin, Fu Guang-Sheng
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-09-04
  • 修回日期:  2007-10-24
  • 刊出日期:  2008-03-05

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