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可见光波段双层浮雕型导模共振滤波器设计与分析

麻健勇 刘世杰 魏朝阳 晋云霞 赵元安 邵建达 范正修

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可见光波段双层浮雕型导模共振滤波器设计与分析

麻健勇, 刘世杰, 魏朝阳, 晋云霞, 赵元安, 邵建达, 范正修

Design and analysis of double layer resonant grating filters in the visible spectral region

Ma Jian-Yong, Liu Shi-Jie, Wei Chao-Yang, Jin Yun-Xia, Zhao Yuan-An, Shao Jian-Da, Fan Zhen-Xiu
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-11-08
  • 修回日期:  2007-12-11
  • 刊出日期:  2008-07-20

可见光波段双层浮雕型导模共振滤波器设计与分析

  • 1. (1)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800;中国科学院研究生院,北京 100049
    基金项目: 国家自然科学基金(批准号:10704079)资助的课题.

摘要: 基于傅里叶模式理论分析了双层浮雕型导模共振光栅的共振效应,分别讨论了光栅的槽深、剩余厚度、周期以及填充系数对峰值反射率、带宽、旁带反射率的影响. 数据计算表明,欠刻蚀情形的误差宽容度远远优于过刻蚀情形,两者在光栅槽深相对误差小于15%的范围内,都能保证共振峰的衍射效率高于99.5%,在相同的误差范围内,共振峰线宽的相对误差将分别达到7%和60%,因此厚度误差集中反映在对共振线宽的改变上. 另外,光栅周期和填充系数的变化将明显改变共振峰中心波长和线宽.

English Abstract

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