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柱面天线射频感性耦合等离子体放电模式特性的实验研究

丁振峰 袁国玉 高 巍 孙景超

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柱面天线射频感性耦合等离子体放电模式特性的实验研究

丁振峰, 袁国玉, 高 巍, 孙景超

Experimental studies on the properties of the discharge modes in a cylindrical radio frequency inductively coupled plasma

Ding Zhen-Feng, Yuan Guo-Yu, Gao Wei, Sun Jing-Chao
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-09-07
  • 修回日期:  2007-10-09
  • 刊出日期:  2008-07-20

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