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甚高频等离子体增强化学气相沉积大面积平行板电极间真空电势差分布研究

葛 洪 张晓丹 岳 强 赵 静 赵 颖

引用本文:
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甚高频等离子体增强化学气相沉积大面积平行板电极间真空电势差分布研究

葛 洪, 张晓丹, 岳 强, 赵 静, 赵 颖

Study of space voltage distribution between large-area parallel-plate electrodes for very high frequency plasma enhanced chemical vapor deposition

Ge Hong, Zhang Xiao-Dan, Yue Qiang, Zhao Jing, Zhao Ying
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-09-12
  • 修回日期:  2008-03-06
  • 刊出日期:  2008-04-05

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