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电化学制备薄黑硅抗反射膜

刘光友 谭兴文 姚金才 王 振 熊祖洪

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电化学制备薄黑硅抗反射膜

刘光友, 谭兴文, 姚金才, 王 振, 熊祖洪

“Black silicon" antireflection thin film prepared by electrochemical etching

Liu Guang-You, Tan Xing-Wen, Yao Jin-Cai, Wang Zhen, Xiong Zu-Hong
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-03-15
  • 修回日期:  2007-05-19
  • 刊出日期:  2008-01-15

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