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6H碳化硅衬底上硅碳锗薄膜的生长特性研究

林 涛 陈治明 李 佳 李连碧 李青民 蒲红斌

引用本文:
Citation:

6H碳化硅衬底上硅碳锗薄膜的生长特性研究

林 涛, 陈治明, 李 佳, 李连碧, 李青民, 蒲红斌

Study of the growth characteristics of SiCGe layers grown on 6H-SiC substrates

Lin Tao, Chen Zhi-Ming, Li Jia, Li Lian-Bi, Li Qing-Min, Pu Hong-Bin
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-10-24
  • 修回日期:  2008-02-01
  • 刊出日期:  2008-09-20

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