搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

金属互连电迁移噪声的多尺度熵复杂度分析

何 亮 杜 磊 庄奕琪 李伟华 陈建平

引用本文:
Citation:

金属互连电迁移噪声的多尺度熵复杂度分析

何 亮, 杜 磊, 庄奕琪, 李伟华, 陈建平

Multiscale entropy complexity analysis of metallic interconnection electromigration noise

He Liang, Du Lei, Zhuang Yi-Qi, Li Wei-Hua, Chen Jian-Ping
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  6750
  • PDF下载量:  1440
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2007-12-26
  • 修回日期:  2008-02-14
  • 刊出日期:  2008-05-05

金属互连电迁移噪声的多尺度熵复杂度分析

  • 1. (1)西安电子科技大学技术物理学院,西安 710071; (2)西安电子科技大学微电子学院,西安 710071
    基金项目: 国家自然科学基金(批准号:60376023)和西安应用材料创新基金(批准号:XA-AM-200603)资助的课题.

摘要: 针对传统频域方法用于分析金属铝互连中的噪声信号的局限性,本文采用多尺度熵方法分析电迁移噪声时间序列.结果表明在电迁移早期,噪声信号较不规律,复杂度较大;随空洞成核的发生,噪声信号规律性增强,复杂度明显减小,反映出随电迁移过程的进行系统的混乱度不断减小.通过与传统表征参量的对比,证明多尺度熵能够对电迁移失效过程进行表征.

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回