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双面阶梯埋氧层部分SOI高压器件新结构

李 琦 张 波 李肇基

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双面阶梯埋氧层部分SOI高压器件新结构

李 琦, 张 波, 李肇基

A new partial SOI high voltage device with double-faced step buried oxide structure

Li Qi, Zhang Bo, Li Zhao-Ji
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-01-27
  • 修回日期:  2008-03-04
  • 刊出日期:  2008-05-05

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