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硼对沉积本征微晶硅薄膜特性的影响

孙福河 张晓丹 王光红 许盛之 岳强 魏长春 孙建 耿新华 熊绍珍 赵颖

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硼对沉积本征微晶硅薄膜特性的影响

孙福河, 张晓丹, 王光红, 许盛之, 岳强, 魏长春, 孙建, 耿新华, 熊绍珍, 赵颖

Influence of boron on the properties of intrinsic microcrystalline silicon thin films

Sun Fu-He, Zhang Xiao-Dan, Wang Guang-Hong, Xu Sheng-Zhi, Yue Qiang, Wei Chang-Chun, Sun Jian, Geng Xin-Hua, Xiong Shao-Zhen, Zhao Ying
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-05-27
  • 修回日期:  2008-07-14
  • 刊出日期:  2009-01-05

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