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高速沉积微晶硅薄膜光发射谱的研究

韩晓艳 耿新华 侯国付 张晓丹 李贵君 袁育杰 魏长春 孙建 张德坤 赵颖

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高速沉积微晶硅薄膜光发射谱的研究

韩晓艳, 耿新华, 侯国付, 张晓丹, 李贵君, 袁育杰, 魏长春, 孙建, 张德坤, 赵颖

An optical emission spectroscopy study on the high rate growth of microcrystalline silicon films

Han Xiao-Yan, Geng Xin-Hua, Hou Guo-Fu, Zhang Xiao-Dan, Li Gui-Jun, Yuan Yu-Jie, Wei Chang-Chun, Sun Jian, Zhang De-Kun, Zhao Ying
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-02-14
  • 修回日期:  2008-07-15
  • 刊出日期:  2009-01-05

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