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几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究

薛伟 解国新 王权 张淼 郑蓓蓉

引用本文:
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几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究

薛伟, 解国新, 王权, 张淼, 郑蓓蓉

The surface energy and nano-adhesion behavior of some micro-component material in MEMS

Xue Wei, Xie Guo-Xin, Wang Quan, Zhang Miao, Zheng Bei-Rong
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-05-14
  • 修回日期:  2008-06-05
  • 刊出日期:  2009-02-05

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