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Si3N4在h-AlN上的晶体化与AlN/Si3N4纳米多层膜的超硬效应

乌晓燕 孔明 李戈扬 赵文济

引用本文:
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Si3N4在h-AlN上的晶体化与AlN/Si3N4纳米多层膜的超硬效应

乌晓燕, 孔明, 李戈扬, 赵文济

Crystallization of Si3N4 on h-AlN and superhardness effect of AlN/Si3N4 nanomultilayers

Wu Xiao-Yan, Kong Ming, Li Ge-Yang, Zhao Wen-Ji
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-06-23
  • 修回日期:  2008-07-14
  • 刊出日期:  2009-02-05

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