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PECVD制备AZO(ZnO:Al)透明导电薄膜

陈兆权 刘明海 刘玉萍 陈伟 罗志清 胡希伟

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PECVD制备AZO(ZnO:Al)透明导电薄膜

陈兆权, 刘明海, 刘玉萍, 陈伟, 罗志清, 胡希伟

Fabrication of transparent conductive AZO (ZnO:Al) film by plasma enhanced chemical vapor deposition

Chen Zhao-Quan, Liu Ming-Hai, Liu Yu-Ping, Chen Wei, Luo Zhi-Qing, Hu Xi-Wei
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-08-30
  • 修回日期:  2008-10-17
  • 刊出日期:  2009-03-05

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