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氟化物材料在深紫外波段的光学常数

薛春荣 易葵 齐红基 邵建达 范正修

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氟化物材料在深紫外波段的光学常数

薛春荣, 易葵, 齐红基, 邵建达, 范正修

Optical constants of fluoride films in the DUV range

Xue Chun-Rong, Yi Kui, Qi Hong-Ji, Shao Jian-Da, Fan Zheng-Xiu
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-05-27
  • 修回日期:  2008-12-08
  • 刊出日期:  2009-07-20

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