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CHx掺杂SiCOH 低介电常数薄膜的物性热稳定性分析

杜杰 叶超 俞笑竹 张海燕 宁兆元

引用本文:
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CHx掺杂SiCOH 低介电常数薄膜的物性热稳定性分析

杜杰, 叶超, 俞笑竹, 张海燕, 宁兆元

Thermal stability of structure and properties of CHx doped SiCOH low dielectric constant films

Du Jie, Ye Chao, Yu Xiao-Zhu, Zhang Hai-Yan, Ning Zhao-Yuan
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-01-07
  • 修回日期:  2008-06-23
  • 刊出日期:  2009-01-20

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