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外加磁场对碰撞射频鞘层离子能量分布的影响

邹秀 邹滨雁 刘惠平

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外加磁场对碰撞射频鞘层离子能量分布的影响

邹秀, 邹滨雁, 刘惠平

Effect of external magnetic field on ion energy density of collisional radio-frequency sheath

Zou Xiu, Zou Bin-Yan, Liu Hui-Ping
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-11-22
  • 修回日期:  2008-12-23
  • 刊出日期:  2009-09-20

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