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占空比对微球a-C:H薄膜制备的影响

张宝玲 何智兵 吴卫东 刘兴华 杨向东

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占空比对微球a-C:H薄膜制备的影响

张宝玲, 何智兵, 吴卫东, 刘兴华, 杨向东

Influence of duty ratio on the fabrication of a-C:H film on microshell

Zhang Bao-Ling, He Zhi-Bing, Wu Wei-Dong, Liu Xing-Hua, Yang Xiang-Dong
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-09-04
  • 修回日期:  2008-12-13
  • 刊出日期:  2009-09-20

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