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金属有机物化学气相沉积法生长Ga2(1-x)In2xO3薄膜的结构及光电性能研究

杨帆 马瑾 孔令沂 栾彩娜 朱振

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金属有机物化学气相沉积法生长Ga2(1-x)In2xO3薄膜的结构及光电性能研究

杨帆, 马瑾, 孔令沂, 栾彩娜, 朱振

Structural, optical and electrical properties of Ga2(1-x)In2xO3 films prepared by metalorganic chemical vapor deposition

Yang Fan, Ma Jin, Kong Ling-Yi, Luan Cai-Na, Zhu Zhen
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-10-22
  • 修回日期:  2009-02-16
  • 刊出日期:  2009-05-05

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