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有丢失物缺陷的铜互连线中位寿命的定量研究

周文 刘红侠

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有丢失物缺陷的铜互连线中位寿命的定量研究

周文, 刘红侠

Quantitative analysis on median-time-to-fail of copper interconnect with lose object defects

Zhou Wen, Liu Hong-Xia
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-08-13
  • 修回日期:  2009-02-17
  • 刊出日期:  2009-11-20

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