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在Si-Ge晶体外延生长中的RHEED花样研究

张冲 叶辉 张磊 皇甫幼睿 刘旭

引用本文:
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在Si-Ge晶体外延生长中的RHEED花样研究

张冲, 叶辉, 张磊, 皇甫幼睿, 刘旭

A study of RHEED pattern from the epitaxial growth of Si-Ge crystal

Zhang Chong, Ye Hui, Zhang Lei, Huang-Fu You-Rui, Liu Xu
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-02-18
  • 修回日期:  2009-03-31
  • 刊出日期:  2009-11-20

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