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不同退火温度下晶化硅薄膜的电学输运性质

宋超 陈谷然 徐骏 王涛 孙红程 刘宇 李伟 陈坤基

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不同退火温度下晶化硅薄膜的电学输运性质

宋超, 陈谷然, 徐骏, 王涛, 孙红程, 刘宇, 李伟, 陈坤基

Properties of electric transport in crystallized silicon films under different annealing temperatures

Song Chao, Chen Gu-Ran, Xu Jun, Wang Tao, Sun Hong-Cheng, Liu Yu, Li Wei, Chen Kun-Ji
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-02-27
  • 修回日期:  2009-03-13
  • 刊出日期:  2009-11-20

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