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基于压电聚合物薄膜可调谐Fabry-Perot滤波器的研究

周可余 叶辉 甄红宇 尹伊 沈伟东

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基于压电聚合物薄膜可调谐Fabry-Perot滤波器的研究

周可余, 叶辉, 甄红宇, 尹伊, 沈伟东

Study of tunable Fabry-Perot filter based on piezoelectric polymer film

Zhou Ke-Yu, Ye Hui, Zhen Hong-Yu, Yin Yi, Shen Wei-Dong
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-02-24
  • 修回日期:  2009-04-15
  • 刊出日期:  2010-01-15

基于压电聚合物薄膜可调谐Fabry-Perot滤波器的研究

  • 1. 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州 310027
    基金项目: 浙江省教育厅2008项目(批准号:Y200803562)资助的课题.

摘要: 采用DBR/电极/间隔层/电极/DBR的结构形式制作滤波器,器件透光部分刻蚀以消除电光效应.测试滤波器透过率光谱,并通过加电压对滤波器中心波长进行调制.据实际结果得到腔的光学厚度为804 μm,腔长在电场作用下收缩.在140 V电压下,腔长收缩量约为0757%.实验证明电致伸缩效应在调制中起作用.

English Abstract

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