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变温退火制备铝诱导大晶粒多晶硅薄膜的机理研究

唐正霞 沈鸿烈 江丰 方茹 鲁林峰 黄海宾 蔡红

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变温退火制备铝诱导大晶粒多晶硅薄膜的机理研究

唐正霞, 沈鸿烈, 江丰, 方茹, 鲁林峰, 黄海宾, 蔡红

Mechanism of large grain polycrystalline Si preparation by aluminum induced crystallization with temperature gradient profile

Tang Zheng-Xia, Shen Hong-Lie, Jiang Feng, Fang Ru, Lu Lin-Feng, Huang Hai-Bin, Cai Hong
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-01-07
  • 修回日期:  2010-05-25
  • 刊出日期:  2010-06-05

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