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反应气压对直流磁控反应溅射制备的氧化银薄膜的结构和光学性质的影响

张增院 郜小勇 冯红亮 马姣民 卢景霄

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反应气压对直流磁控反应溅射制备的氧化银薄膜的结构和光学性质的影响

张增院, 郜小勇, 冯红亮, 马姣民, 卢景霄

Effect of the reactive pressure on the structure and optical properties of silver oxide films deposited by direct-current reactive magnetron sputtering

Zhang Zeng-Yuan, Gao Xiao-Yong, Feng Hong-Liang, Ma Jiao-Min, Lu Jing-Xiao
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-03-13
  • 修回日期:  2010-05-12
  • 刊出日期:  2011-01-15

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