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大面积表面波等离子体源微波功率吸收的数值模拟研究

蓝朝晖 胡希伟 刘明海

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大面积表面波等离子体源微波功率吸收的数值模拟研究

蓝朝晖, 胡希伟, 刘明海

Numerical simulation of microwave power absorption of large-scale surface-wave plasma source

Lan Chao-Hui, Hu Xi-Wei, Liu Ming-Hai
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-10-28
  • 修回日期:  2010-05-03
  • 刊出日期:  2011-01-05

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