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大气压Ar射频容性放电模式转变的温度表征

郭卿超 张家良 刘莉莹 王德真

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大气压Ar射频容性放电模式转变的温度表征

郭卿超, 张家良, 刘莉莹, 王德真

Characterization on the temperature of radio frequency argon capacitive discharge mode transition at atmospheric pressure

Guo Qing-Chao, Zhang Jia-Liang, Liu Li-Ying, Wang De-Zhen
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-02-04
  • 修回日期:  2010-04-26
  • 刊出日期:  2011-01-05

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