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基于Sigmoid函数的离轴照明光源全参数解析模型

刘巍 刘世元 吴小飞 张传维

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基于Sigmoid函数的离轴照明光源全参数解析模型

刘巍, 刘世元, 吴小飞, 张传维

Parametric analytical model for off-axis illumination sources based on Sigmoid function

Liu Wei, Liu Shi-Yuan, Wu Xiao-Fei, Zhang Chuan-Wei
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-12-09
  • 修回日期:  2010-12-29
  • 刊出日期:  2011-05-15

基于Sigmoid函数的离轴照明光源全参数解析模型

  • 1. (1)华中科技大学武汉光电国家实验室,武汉 430074; (2)华中科技大学武汉光电国家实验室,武汉 430074;华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉 430074
    基金项目: 国家自然科学基金(批准号:91023032, 51005091, 50775090),中国博士后科学基金(批准号:20100470052),中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:2010ZD004)资助的课题.

摘要: 本文提出一种全面描述光刻机离轴照明光源物理分布特性的全参数解析模型,该模型采用Sigmoid函数作为构造各种主流离轴光源解析模型的核函数.提出通过加入光源全参数修正项来表征真实光源的各种物理畸变和偏差,全参数修正项可展开为傅里叶级数形式,相应级次的傅里叶系数具有特殊的物理意义,可分别代表偏心、倾斜、椭偏等形式的光源畸变,为光刻分辨率增强技术及其相关领域提供了仿真条件与理论依据,具有重要的应用价值.

English Abstract

参考文献 (18)

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