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晶粒尺寸及衬底应力对铁电薄膜特性的影响

王英龙 张鹏程 刘虹让 刘保亭 傅广生

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晶粒尺寸及衬底应力对铁电薄膜特性的影响

王英龙, 张鹏程, 刘虹让, 刘保亭, 傅广生

Effects of grain size and substrate stress of ferroelectric film on the physical properties

Wang Ying-Long, Zhang Peng-Cheng, Liu Hong-Rang, Liu Bao-Ting, Fu Guang-Sheng
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-10-20
  • 修回日期:  2010-11-08
  • 刊出日期:  2011-07-15

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