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有限尺寸方靶等离子体离子注入动力学的三维粒子模拟研究

王蓬 田修波 汪志健 巩春志 杨士勤

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有限尺寸方靶等离子体离子注入动力学的三维粒子模拟研究

王蓬, 田修波, 汪志健, 巩春志, 杨士勤

Numerical simulation of plasma immersion ion implantation for cubic target with finite length using three-dimensional particle-in-cell model

Wang Peng, Tian Xiu-Bo, Wang Zhi-Jian, Gong Chun-Zhi, Yang Shi-Qin
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-06-02
  • 修回日期:  2010-09-14
  • 刊出日期:  2011-04-05

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