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Si(100)表面Se薄膜生长及其在Ti/Si欧姆接触中的应用

潘书万 亓东峰 陈松岩 李成 黄巍 赖虹凯

引用本文:
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Si(100)表面Se薄膜生长及其在Ti/Si欧姆接触中的应用

潘书万, 亓东峰, 陈松岩, 李成, 黄巍, 赖虹凯

Se ultrathin film growth on Si(100) substrate and its application in Ti/n-Si(100) ohmic contact

Pan Shu-Wan, Qi Dong-Feng, Chen Song-Yan, Li Cheng, Huang Wei, Lai Hong-Kai
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-11-13
  • 修回日期:  2010-12-20
  • 刊出日期:  2011-09-15

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