搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

质子辐照下Mo/Si多层膜反射镜的微观结构状态

关庆丰 吕鹏 王孝东 万明珍 顾倩倩 陈波

引用本文:
Citation:

质子辐照下Mo/Si多层膜反射镜的微观结构状态

关庆丰, 吕鹏, 王孝东, 万明珍, 顾倩倩, 陈波

Microstructures of Mo/Si multilayer mirror after proton irradiation

Guan Qing-Feng, Lü Peng, Wang Xiao-Dong, Wan Ming-Zhen, Gu Qian-Qian, Chen Bo
PDF
导出引用
  • 利用透射电子显微镜对质子辐照前后空间太阳望远镜Mo/Si多层膜的微观结构进行了表征, 并对其辐照前后反射率的变化进行了测量.研究表明, Mo/Si多层膜经质子辐照后形成了一些缺陷结构,局部区域Mo/Si的周期性遭到破坏, Mo层与Si层的宽度发生了变化,多层膜层与层之间的界面也比辐照前更为粗糙,部分层状结构由于质子辐照发生了明显的扭曲和折断等现象;此外,质子辐照导致了Mo/Si多层膜反射率的下降,这些微观缺陷的形成是光学性能降低的直接诱因.
    In this paper we characterize the microstructures of Mo/si multilager in space solar telescope induced by proton irradiation by transmission electron microscope (TEM). The optical performances of the Mo/Si multilayer mirror before and after proton irradiation are also determined. The experimental results show that some defect structures are introduced after proton irradiation. The Mo/Si periodic structure is destructed in some irradiation regions. The widths of Mo layer and Si layer significantly change and the Mo/Si interface is much rougher than before irradiation. Moreover, the obvious distortions of the Mo/Si interface and the formation of the small islands in Mo layer are also found. Furthermore, proton irradiation reduces the reflectivity of Mo/Si multilayer mirror. The dominante mechanism of optical degeneration of the Mo/Si multilayer induced by proton irradiation should be attributed to the formation of the defect structures.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:10878004, 50671042)和应用光学国家重点实验室开放基金资助的课题.
    • Funds: Project supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant Nos. 10878004, 50671042), and the Opening Foundation of State Key Laboratory of Applied Optics, China.
    [1]

    Gussenhoven M S, Mullon E G 1993 IEEE Trans. Nucl. Sci. 40 221

    [2]

    Fan X H, Chen B, Guan Q F 2008 Acta Phys. Sin. 57 1829(in Chinese) [范鲜红,陈波,关庆丰 2008 物理学报 57 1829]

    [3]

    Cheng X W, Guan Q F, Fan X H, Chen B 2010 Chin. Phys. B 19 016103

    [4]

    Fan X H, Ni Q L, Chen B 2008 Acta Phys. Sin. 57 6494 (in Chinese) [范鲜红,尼启良,陈波 2008 物理学报 57 6494]

    [5]

    Lauriente M, VampolaA L, Koga R, Hosken R 1999 Spacecraft Rockets 36 902

    [6]

    Stearns G, RosenR S, Vernon S P 1993 Appl. Opt. 32 6952

    [7]

    Feng D 2000 Metallogrphy Physics (Vol.1)(Beijing:Science Press) p223 (in Chinese) [冯端 2000 金属物理学 (第一卷)(北京:科学出版社)第223页]

    [8]

    Wirth B D, Caturla M J, Diaz de la R T, Khraishi T, Zbib H 2001 J. Nucl. Mater. 180 23

    [9]

    Wang X T, Guan Q F, Qiu D H, Cheng X W, Li Y, Peng D J, Gu Q Q Acta Phys. Sin. 59 7252 (in Chinese) [王雪涛,关庆丰,邱冬华,程秀围,李艳,彭冬晋,顾倩倩 2010 物理学报 59 7252]

    [10]

    Wang X T, Guan Q F, Gu Q Q, Peng D J, Li Y, Chen B 2010 J. Inorganic Mater. 25 1313(in Chinese) [王雪涛,关庆丰,顾倩倩,彭东晋,李艳,陈波 2010 无机材料学报 25 1313]

    [11]

    Guan Q F, Chen D Q, Zhu J, Qiu D H,Wang X T, Chen XW2009 Acta Phys. Sin. 58 4846 (in Chinese) [关庆丰,程笃庆,朱键,邱冬华,王雪涛,程秀围 2009 物理学报 58 4846]

    [12]

    Chen D Q, Guan Q F, Zhu J, Qiu D H, Chen XW,Wang X T 2009 Acta Phys. Sin. 58 7300 (in Chinese) [程笃庆,关庆丰,朱健,邱东华,程秀围,王雪涛 2009 物理学报 58 7300]

    [13]

    Guan Q F, Chen B, Zhang Q Y, Dong C, Zou G T 2008 Acta Phys. Sin. 57 392 (in Chinese) [关庆丰,陈波,张庆瑜,董闯,邹广田 2008 物理学报 57 392]

    [14]

    Guan Q F, An C X, Qin Y, Zou J X, Hao S Z, Zhang Q Y, Dong C, Zou G T 2005 Acta Phys. Sin. 54 3927 (in Chinese) [关庆丰,安春香,秦颖,邹建新,郝胜志,张庆瑜,董闯,邹广田 2005 物理学报 54 3927]

    [15]

    Morawe C, Peffen J C, Hignete O 2001 SPIE High resolution multilayer X-ray 4145 61

    [16]

    Liu X, Wang Z S, Yi K 2008 Optical Interference Coatings (Hangzhou: Zhejiang University Press) p215 (in Chinese) [刘旭,王占山,易葵 2008 光学干涉薄膜 (杭州:浙江大学出版社)第215页]

  • [1]

    Gussenhoven M S, Mullon E G 1993 IEEE Trans. Nucl. Sci. 40 221

    [2]

    Fan X H, Chen B, Guan Q F 2008 Acta Phys. Sin. 57 1829(in Chinese) [范鲜红,陈波,关庆丰 2008 物理学报 57 1829]

    [3]

    Cheng X W, Guan Q F, Fan X H, Chen B 2010 Chin. Phys. B 19 016103

    [4]

    Fan X H, Ni Q L, Chen B 2008 Acta Phys. Sin. 57 6494 (in Chinese) [范鲜红,尼启良,陈波 2008 物理学报 57 6494]

    [5]

    Lauriente M, VampolaA L, Koga R, Hosken R 1999 Spacecraft Rockets 36 902

    [6]

    Stearns G, RosenR S, Vernon S P 1993 Appl. Opt. 32 6952

    [7]

    Feng D 2000 Metallogrphy Physics (Vol.1)(Beijing:Science Press) p223 (in Chinese) [冯端 2000 金属物理学 (第一卷)(北京:科学出版社)第223页]

    [8]

    Wirth B D, Caturla M J, Diaz de la R T, Khraishi T, Zbib H 2001 J. Nucl. Mater. 180 23

    [9]

    Wang X T, Guan Q F, Qiu D H, Cheng X W, Li Y, Peng D J, Gu Q Q Acta Phys. Sin. 59 7252 (in Chinese) [王雪涛,关庆丰,邱冬华,程秀围,李艳,彭冬晋,顾倩倩 2010 物理学报 59 7252]

    [10]

    Wang X T, Guan Q F, Gu Q Q, Peng D J, Li Y, Chen B 2010 J. Inorganic Mater. 25 1313(in Chinese) [王雪涛,关庆丰,顾倩倩,彭东晋,李艳,陈波 2010 无机材料学报 25 1313]

    [11]

    Guan Q F, Chen D Q, Zhu J, Qiu D H,Wang X T, Chen XW2009 Acta Phys. Sin. 58 4846 (in Chinese) [关庆丰,程笃庆,朱键,邱冬华,王雪涛,程秀围 2009 物理学报 58 4846]

    [12]

    Chen D Q, Guan Q F, Zhu J, Qiu D H, Chen XW,Wang X T 2009 Acta Phys. Sin. 58 7300 (in Chinese) [程笃庆,关庆丰,朱健,邱东华,程秀围,王雪涛 2009 物理学报 58 7300]

    [13]

    Guan Q F, Chen B, Zhang Q Y, Dong C, Zou G T 2008 Acta Phys. Sin. 57 392 (in Chinese) [关庆丰,陈波,张庆瑜,董闯,邹广田 2008 物理学报 57 392]

    [14]

    Guan Q F, An C X, Qin Y, Zou J X, Hao S Z, Zhang Q Y, Dong C, Zou G T 2005 Acta Phys. Sin. 54 3927 (in Chinese) [关庆丰,安春香,秦颖,邹建新,郝胜志,张庆瑜,董闯,邹广田 2005 物理学报 54 3927]

    [15]

    Morawe C, Peffen J C, Hignete O 2001 SPIE High resolution multilayer X-ray 4145 61

    [16]

    Liu X, Wang Z S, Yi K 2008 Optical Interference Coatings (Hangzhou: Zhejiang University Press) p215 (in Chinese) [刘旭,王占山,易葵 2008 光学干涉薄膜 (杭州:浙江大学出版社)第215页]

  • [1] 李丽丽, 张晓虹, 王玉龙, 国家辉. 电场和温度对聚合物空间电荷陷阱性能的影响. 物理学报, 2017, 66(8): 087201. doi: 10.7498/aps.66.087201
    [2] 魏政鸿, 云峰, 丁文, 黄亚平, 王宏, 李强, 张烨, 郭茂峰, 刘硕, 吴红斌. 低接触电阻率Ni/Ag/Ti/Au反射镜电极的研究. 物理学报, 2015, 64(12): 127304. doi: 10.7498/aps.64.127304
    [3] 朱贺, 张兵坡, 王淼, 胡古今, 戴宁, 吴惠桢. 高剂量As离子注入对高阻Si电学特性的影响. 物理学报, 2014, 63(13): 136803. doi: 10.7498/aps.63.136803
    [4] 黄亚平, 云峰, 丁文, 王越, 王宏, 赵宇坤, 张烨, 郭茂峰, 侯洵, 刘硕. Ni/Ag/Ti/Au与p-GaN的欧姆接触性能及光反射率. 物理学报, 2014, 63(12): 127302. doi: 10.7498/aps.63.127302
    [5] 王永军, 李红轩, 吉利, 刘晓红, 吴艳霞, 周惠娣, 陈建敏. 非平衡磁控溅射制备类石墨碳膜及性能研究. 物理学报, 2012, 61(5): 056103. doi: 10.7498/aps.61.056103
    [6] 周仁来, 鞠有伦, 杨超, 王巍, 王月珠. 一种对双包层大芯径光纤光栅反射率和纤芯折射率调制估算的方法. 物理学报, 2012, 61(24): 244205. doi: 10.7498/aps.61.244205
    [7] 于松楠, 吴汉华, 陈根余, 袁鑫, 李乐. Al(OH)3溶胶浓度对TC4钛合金微弧氧化膜特性的影响. 物理学报, 2011, 60(2): 028104. doi: 10.7498/aps.60.028104
    [8] 罗庆洪, 娄艳芝, 赵振业, 杨会生. 退火对AlTiN多层薄膜结构及力学性能影响. 物理学报, 2011, 60(6): 066201. doi: 10.7498/aps.60.066201
    [9] 付伟佳, 刘志文, 刘明, 牟宗信, 张庆瑜, 关庆丰, 陈康敏. 离子注入Zn的Si(001)基片热氧化制备纳米ZnO团簇及其生长行为研究. 物理学报, 2009, 58(8): 5693-5699. doi: 10.7498/aps.58.5693
    [10] 王振德, 刘念华. 正负折射率材料组成的半无限一维光子晶体的反射率. 物理学报, 2009, 58(1): 559-564. doi: 10.7498/aps.58.559
    [11] 何燕飞, 龚荣洲, 王 鲜, 赵 强. 蜂窝结构吸波材料等效电磁参数和吸波特性研究. 物理学报, 2008, 57(8): 5261-5266. doi: 10.7498/aps.57.5261
    [12] 刘世元, 顾华勇, 张传维, 沈宏伟. 基于修正等效介质理论的微纳深沟槽结构反射率快速算法研究. 物理学报, 2008, 57(9): 5996-6001. doi: 10.7498/aps.57.5996
    [13] 徐 敏, 张月蘅, 沈文忠. 半导体远红外反射镜中反射率和相位研究. 物理学报, 2007, 56(4): 2415-2421. doi: 10.7498/aps.56.2415
    [14] 冯素娟, 尚 亮, 毛庆和. 利用偏振控制器连续调节光纤环镜的反射率. 物理学报, 2007, 56(8): 4677-4685. doi: 10.7498/aps.56.4677
    [15] 王晓慧, 吕志伟, 林殿阳, 王 超, 汤秀章, 龚 坤, 单玉生. 宽带KrF激光抽运的受激布里渊散射反射率研究. 物理学报, 2006, 55(3): 1224-1230. doi: 10.7498/aps.55.1224
    [16] 潘梦霄, 曹兴忠, 李养贤, 王宝义, 薛德胜, 马创新, 周春兰, 魏 龙. 氧化钒薄膜微观结构的研究. 物理学报, 2004, 53(6): 1956-1960. doi: 10.7498/aps.53.1956
    [17] 王洪昌, 王占山, 李佛生, 秦树基, 杜芸, 王利, 张众, 陈玲燕. 帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析. 物理学报, 2004, 53(7): 2368-2372. doi: 10.7498/aps.53.2368
    [18] 孙可煦, 易荣清, 杨国洪, 江少恩, 崔延莉, 刘慎业, 丁永坤, 崔明启, 朱佩平, 赵屹东, 朱杰, 郑雷, 张景和. 软x射线平面镜不同掠射角下的反射率标定. 物理学报, 2004, 53(4): 1099-1104. doi: 10.7498/aps.53.1099
    [19] 吕志伟, 王晓慧, 林殿阳, 王 超, 赵晓彦, 汤秀章, 张海峰, 单玉生. KrF激光受激布里渊散射反射率稳定性的研究. 物理学报, 2003, 52(5): 1184-1189. doi: 10.7498/aps.52.1184
    [20] 丁瑞钦, 王浩, W.F.LAU, W.Y.CHEUNG, S.P.WONG, 王宁娟, 于英敏. InP/SiO2纳米复合膜的微观结构和光学性质. 物理学报, 2001, 50(8): 1574-1579. doi: 10.7498/aps.50.1574
计量
  • 文章访问数:  7454
  • PDF下载量:  522
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2011-03-21
  • 修回日期:  2011-04-27
  • 刊出日期:  2012-01-05

/

返回文章
返回