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等离子体浸没离子注入制备黑硅抗反射层及其光学特性研究

刘杰 刘邦武 夏洋 李超波 刘肃

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等离子体浸没离子注入制备黑硅抗反射层及其光学特性研究

刘杰, 刘邦武, 夏洋, 李超波, 刘肃

Study on the optical characteristic of black silicon antireflection coating prepared by plasma immersion ion implantation

Liu Jie, Liu Bang-Wu, Xia Yang, Li Chao-Bo, Liu Su
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-11-30
  • 修回日期:  2011-12-28
  • 刊出日期:  2012-07-05

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