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氮化硅薄膜中硅纳米颗粒的形成机制研究

邹祥云 苑进社 蒋一祥

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氮化硅薄膜中硅纳米颗粒的形成机制研究

邹祥云, 苑进社, 蒋一祥

The formation mechanism of the silicon nano-clusters embedded in silicon nitride

Zou Xiang-Yun, Yuan Jin-She, Jiang Yi-Xiang
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-10-23
  • 修回日期:  2011-12-17
  • 刊出日期:  2012-07-05

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