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磁控溅射辉光放电特性的模拟研究

沈向前 谢泉 肖清泉 陈茜 丰云

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磁控溅射辉光放电特性的模拟研究

沈向前, 谢泉, 肖清泉, 陈茜, 丰云

Computer simulation of the glow discharge characteristics in magnetron sputtering

Shen Xiang-Qian, Xie Quan, Xiao Qing-Quan, Chen Qian, Feng Yun
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-06-23
  • 修回日期:  2012-02-04
  • 刊出日期:  2012-08-05

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